Модифікація поверхні напівпровідників АIII BV

Abstract

Вивчення поверхневих явищ необхідний і важливий напрямок фізики твердого тіла. Це пояснюється кількома причинами. По-перше, стан поверхні напівпровідника має вирішальний вплив на технічні характеристики напівпровідникових приладів. Обробка поверхні напівпровідника є дуже важливою технологічною операцією в процесі виготовлення напівпровідникових приладів і схем. У зв'язку з розвитком мікро- та наноелектроніки відбувається зменшення розмірів елементів і збільшується відношення поверхні до об'єму. По-друге, поверхня впливає на експлуатаційні характеристики об'ємних приладів. Будь-яка зміна починається з поверхні і пов'язане з процесами адсорбції-десорбції, дифузії. Тому в технології застосовуються спеціальні методи поверхневих обробок.